类金刚石（DLC）多层薄膜残余应力调控及其机械性能研究.徐照英.【摘要】：类金刚石(DLC)薄膜由于具有高硬度和弹性模量、低摩擦系数、优异的耐磨损性和耐腐蚀性等优异性能,而成为具有广泛应用前景的保护膜及耐磨材料。.多年的研究发现DLC薄膜中存在很...
DLC膜厚度对镁基表面DLC／MAO复合膜层性能的影响.：采用线性离子束沉积技术于AZ80镁合金微弧氧化（MAO）陶瓷层表面沉积不同厚度的类金刚石碳（DLC）膜，形成DLC／MAO复合膜层。.对比研究4种膜基系统的表面结构特征、力学性能以及摩擦学性能差异。.结果表明...
综上,当膜层结构为Cr/CrC/DLC负偏压的增加一定程度上可以提高膜基结合力。其原因是,当基体负偏压增大时沉积粒子的离子数量和能量也相应增加,进而使基体表面轰击、注入能力增强,时涂层界面趋于模糊,扩散作用明显提高,进而膜与基体结合力增加。同时...
组合沉积DLC薄膜界面光学特性研究,类金刚石薄膜,椭偏分析,界面层,光学特性。无氢类金刚石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜沉积过程中有较多高能粒子参与成膜。参与成膜的高能粒子...
摘要：固液复合润滑是指由固体润滑薄膜和液体润滑介质协同形成的复合润滑系统,其中由于类金刚石碳膜(DiamondLikeCarbon,DLC薄膜)的高承载,低摩擦磨损优势,由DLC薄膜构成的固液复合润滑系统在汽车和航空航天领域有着广阔的应用前景.这种固液复合润滑系统在室温下能够表现出优异的润滑性能,但是...
所的低氢膜层在在大气中具有比高氢膜层优异的摩擦性能。但是在氮气测试气氛下,结果则于大气气氛下相反,高氢膜层的摩擦系数达到0.05。氢含量对薄膜硬度的影响不明显,氢含量的增加导致膜层的内应力增大,进而使膜基结合力降低。
用等离子体基脉冲偏压技术了DLC（类金刚石碳）膜,DLC膜硬度值达30GPa,电阻值达100MΩ以上．降低脉冲负偏压峰值及适量引入氢气可促进SP3结构的形成,但氢气量超过一定阈值后SP2束片尺寸细化,SP2键含量有增加的趋势．在GCr15轴承钢基体上经磁控溅射沉积约300nm纯Ti层,再用脉冲偏压技术沉积DLC...
论文|铬含量及摩擦条件对掺铬DLC膜摩擦磨损性能的影响论文|用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究论文|高气压DBD等离子体功能材料及其性能研究论文|Ti6A14V合金及其改性层的冲击磨损行为研究
采用原子力显微镜表征DLC膜的表面形貌和粗糙度。发现两种DLC膜表面粗糙度在0.25nm-0.35nm之间变动。两种DLC膜的表面呈现不同的形貌,旧工艺生产的DLC膜表面划痕朝向混乱,而新工艺DLC膜表面划痕则沿着一定的角度。
中频磁控和非平衡磁控放电特性及Cr-DLC膜层研究.张沛然.【摘要】：金属掺杂类金刚石薄膜具有高硬度、低摩擦系数、低磨损率等优点被广泛应用于抗摩擦领域中。.传统磁控溅射存在靶材原子离化率低,反应磁控溅射中容易毒化,工作不稳定等问题。.非...
本论文主要通过离子束溅射的方法了Si掺杂的类金刚石(DLC)单层薄膜和不同亚层模量比以及不同亚层厚度比的多层薄膜,通过改变单层薄膜中Si掺杂含量以及多层薄膜的亚...彭燚...
一种精确控制DLC膜层厚度的DLC膜层方法本发明涉及一种精确控制DLC膜层厚度的DLC膜层方法,包括以下步骤:(1)对耐磨零部件进行多道清洗;(2)将清洗后的耐磨零部件放在N辛...
参与成膜的高能粒子会导致多层光学薄膜的界面状态发生改变。研究薄膜界面层的变化规律及其与薄膜特性之间的关系,有利于进一步分析无氢DLC薄膜的光学损耗机理。本文在DLC膜界...
本文采用等离子体增强化学气相沉积法,在离线可钢化单银Low-E玻璃表面沉积一层DLC薄膜。结果表明,10～12nm以上厚度的DLC薄膜能够有效降低Low-E玻璃表面摩擦系数,提高Low-E玻璃...
【摘要】:采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)方法了1～20nm的超薄DLC膜,用原子力显微镜(AFM)对其表面形貌进行观察,并用透射电子显微镜(TEM)和激光拉曼光谱(Raman)对其结构进...
其中,薄膜与基底的结合力是DLC膜应用的先决条件。当膜层厚度大于1∥m时,首先要解决的是膜和基底的附着力问题。DLC膜的方法已有许多种,包括物理气相...
【摘要】:采用线性离子束沉积技术于AZ80镁合金微弧氧化(MAO)陶瓷层表面沉积不同厚度的类金刚石碳(DLC)膜,形成DLC/MAO复合膜层。对比研究4种膜基系统的表面结构特...
为提高CoCrM合金的耐磨性,延长其使用寿命,采用磁控溅射法在其表面了厚度为1.89μm、分别掺W元素和掺Ti元素的2种DLC膜层.摩擦磨损实验测得未镀膜层、镀Ti-DLC膜层以及镀W-...
目前阻碍DLC薄膜在玻璃表面应用的主要原因是玻璃和DLC薄膜之间存在较大的内应力,造成薄膜易产生开裂和剥落。因此,本论文在玻璃基体与DLC薄膜间预镀一层SiC缓冲层,来提高薄膜...
中文摘要本研究采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在GCr15钢和2Cr13钢表面了Ti/DLC和W/DLC纳米多层薄膜,DLC、Ti和W层均通过PIIID技术中的阴极弧沉积方法来...