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西安电子科技大学硕士学位论文MOCVD设备反应室的设计与分析姓名：董佳鑫申请学位级别：硕士专业：微电子与固体电子学指导教师：张进城20080101摘要摘要金属有机物化学气相淀积（MetalOrganicChemicalVaporDeposition，简称MOCVD）自20世纪60年代首次提出以来，经过70年代至80年代的发展，90年代...
MOCVD设备反应室的设计与分析.董佳鑫.金属有机物化学气相淀积(MetalOrganicChemicalVaporDeposition,简称MOCVD)自20世纪60年代首次提出以来,经过70年代至80年代的发展,90年代已经成为砷化镓、磷化铟等半导体材料外延生长的核心技术。.到目前为止,从材料和器件...
【摘要】：介绍了MOCVD法的基本原理、生长步骤以及主要优缺点;并以某型号MOCVD设备为例,介绍了其主要结构组成,分析了影响MOCVD工艺的主要因素,结合维修经验总结了MOCVD的常见故障现象以及相…
MOCVD设备反应室的设计与分析.金属有机物化学气相淀积(MetalOrganicChemicalVaporDeposition,简称MOCVD)自20世纪60年代首次提出以来,经过70年代至80年代的发展,90年代已经成为砷化镓、磷化铟等半导体材料外延生长的核心技术。.到目前为止,从材料和器件性能及生产...
由于进口设备价格和维护费用非常昂贵,我国必须要进行该领域研究,必须要有自己的核心工艺和核心设备,尤其是MOCVD设备,必须尽快实现技术突破和产业化。我国现阶段MOCVD设备研制尚处于起步阶段,很多核心技术都不成熟。尚未解决的问题很多,比如自主...
MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)是生长高质量半导体薄膜材料的技术，在LED、半导体激光器、太阳能电池等多个领域都有应用。现有MOCVD设备的成本非常高，且完全依赖进口，进行MOCVD设备研究对国内半导体产业、新能源领域以及国防高端技术的发展都很有必要。MOCVD设备可以分为核心的腔体...
华中科技大学硕士学位论文MOCVD设备气体输运关键技术的研究姓名：王卫星申请学位级别：硕士专业：精微制造工程指导教师：刘胜;甘志银20080603f华中科技大学硕士学位论文摘要MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)是生长高质量半导体薄膜材料的...
提供MOCVD设备反应室的设计与分析word文档在线阅读与免费下载，摘要:西安电子科技大学硕士学位论文MOCVD设备反应室的设计与分析姓名：董佳鑫申请学位级别：硕士专业：微电子与固体电子学指导教师：张进城20080101
华中科技大学硕士学位论文MOCVD设备气体输运与加热控制系统设计姓名：王晟申请学位级别：硕士专业：精微制造工程指导教师：甘志银20080603随着半导体技术的不断发展，半导体材料得到了广泛的使用，尤其是宽禁带的-族和-族化合物半导体材料在发光二极管、激光器、光探测器和大功率电…
国防科学技术大学硕士学位论文氮化镓有机化合物气相淀积（GaNMOCVD）设备控制系统研究姓名：胡晓宇申请学位级别：硕士专业：控制工程指导教师：李杰;魏唯20090301国防科学技术大学研究生院工程硕士学位论文GaNMOCVD设备是高...
介绍了MOCVD法的基本原理,生长步骤以及主要优缺点;并以某型号MOCVD设备为例,介绍了其主要结构组成,分析了影响MOCVD工艺的主要因素,结合维修经验总结了MOCVD的常见故障现象以...
此外,本团队专注于原创论文写作,提供单独定务。具体价格咨询航空电子设备结构设计实例面向民用航空器电子设备维修的电子信息工程专业建设对HB7089-94...
关键词:电气设备维修论文1公司电气设备维护与管理工作中的具体要求1.1维护人员需要专业培训电气设备维护工作人员必须有一定的专业技能,对设备的基本原理及其应用能有一定的认识,...
毕业论文:设备维修实习报告实习名称:设备维修实习性质:毕业实习机电工程系专业班级:机械设计制造及其自动化073青岛理工大学琴岛学院教务处2011实习名称...
硕士学位论文MOCVD设备反应室的设计与分析姓名:董佳鑫申请学位级别:硕士专业:微电子与固体电子学指导教师:张进城20080101摘要年代已经成为***化镓、磷化铟...
本人所在课题组在西电第一代MOCVD设备研制的基础上经过深入研究,提出第二代MOCVD系统设计方案。并着重在第一代反应室设计的基础上进行完善与优化,设计一个可满足3片2英寸基片...
导读:本论文可用于设备国产化论文范文写作参考研究。过去的6~7年中,中国用于进口MOCVD设备的经费约合100亿元人民币,其中各地方补贴经费高达70亿元左右.完...
设备管理论文范文大全:机械设备管理问题及改进措施分、建筑机械设备管理问题及对策探、生产线中设备管理系统的应用、设备管理及监控应用案例分析、浅谈地铁盾构...
MOCVD加热系统研究(附论文链接)(2018-07-3117:16:57)转载▼标签:mocvd分类:感应加热MOCVD加热系统...有机物化学气相沉积(MOCVD,MetalOrganicChemi...
【摘要】:最近,GaN等薄膜材料外延生长技术及其设备越来越受到人们的重视,而MOCVD设备正是最重要的半导体材料外延设备之一。本文将简要介绍MOCVD的应用、发展现状及趋势,自主M...